e-Repository BATAN

Advanced Search

STUDI TENTANG PENGARUH "FLUENS" TERHADAP KONSENTRASI PHOSPHOR DAN EFFEKNY A PADA "DARK BAND" DI DALAM Si

Usman Sudjadi, US (1999) STUDI TENTANG PENGARUH "FLUENS" TERHADAP KONSENTRASI PHOSPHOR DAN EFFEKNY A PADA "DARK BAND" DI DALAM Si. PROSIDING SEMINAR HASIL PENELITIAN PRSG. pp. 31-40. ISSN 0854-5278

[img]
Preview
Text
Usman S.pdf

Download (5MB) | Preview

Abstract

STUDI TENTANG PENGARUH "FLUENS" TERHADAP KONSENTRASI PHOSPHOR DAN EFFEKNYA PADA "DARK BAND" DI DALAM Si. Telah dilakukan penelitian pengaruh "fluence" terhadap konsentrasi fosfor clan effeknya pacta "dark band" di dalam silikon pacta CIP di RSG-Serpong dengan bantuan alat SEM clan perhitungan. P-Si di iradiasi dengan fluence yang berbeda-beda yaitu 4,41 x 1018n em-" ;3,67 x 1018n em-"; 2,94 x 1018n em-" clan 2,2 x 1018n em-". Secara kwalitatif diperoleh hasil bahwa konsentrasi fosfor adalah 9,0846 x 1014atom/em"; 7,5602 x 1014 atom/em"; 6,0564 x 1014atom/em" daD 4,532 x 1014atom/cm2. Hasil ini menunjukkan bahwa hubungan konsentrasi fosfor daD "fluens" di CIP tidak linier. Interaksi elektronelektron dari phosphor terhadap "conduction band" clan "valence band" di diskusikan. Pengamatan dengan SEM menunjukkan adanya "defect" pacta permukaan silikon, sehingga mengganggu pengamatan "band" pactapermukaan silikon.

Item Type: Article
Subjects: Reaktor Nuklir > Teknologi Reaktor > Sistem Reaktor
Divisions: Pusat Reaktor Serba Guna
Depositing User: EDITOR PRSG BATAN
Date Deposited: 11 May 2018 03:44
Last Modified: 11 May 2018 03:44
URI: http://repo-nkm.batan.go.id/id/eprint/1361

Actions (login required)

View Item View Item