e-Repository BATAN

Advanced Search

PERHITUNGAN KERAPATAN ION NITROGEN PADA PEMBENTUKAN FeN DALAM PROSES NITRIDASI PLASMA

Usada, Widdi (2011) PERHITUNGAN KERAPATAN ION NITROGEN PADA PEMBENTUKAN FeN DALAM PROSES NITRIDASI PLASMA. Ganendra, 14 (1). pp. 39-46. ISSN p-ISSN: 1410-6957, e-ISSN: 2503-5029

[img]
Preview
Text (PERHITUNGAN KERAPATAN ION NITROGEN PADA PEMBENTUKAN FeN DALAM PROSES NITRIDASI PLASMA)
30-61-1-SM.pdf - Published Version

Download (339kB) | Preview

Abstract

PERHITUNGAN KERAPATAN ION NITROGEN PADA PEMBENTUKAN FeN DALAM PROSES NITRIDASI PLASMA. Telah dilakukan perhitungan kerapatan ion nitrogren pada pembentukan FeN dalam proses nitridasi plasma. Perhitungan menggunakan pengandaian derajat ionisasi dalam plasma α = 10-5, dan rumusan kekekalan muatan dalam penghitungan cacah partikel ion nitrogen serta teori tumbukan ion nitrogen dengan target Fe dalam proses pembentukan FeN. Hasil perhitungan menunjukkan bahwa untuk tekanan operasi gas nitrogen dengan jangkau 0,6 sampai 2 torr, maka jangkau kerapatan ion nitrogen adalah 1,6 – 3,5 109 partikel/cm3, dan jangkau rapat daya 0,2 – 1,6 W/cm2. Sedangkan untuk pembentukan ikatan FeN, diperoleh cacah dari 0 sampai 1,4 105, untuk jangkau suhu dari 0 sampai sekitar 6 104 K. Kata kunci : plasma, ion, tumbukan,

Item Type: Article
Subjects: Rekayasa Perangkat dan Fasilitas Nuklir > Teknologi Proses Fasilitas Nuklir > Proses Non Nuklir
Divisions: Pusat Sains dan Teknologi Akselerator
Depositing User: EDITOR PSTA BATAN
Date Deposited: 15 May 2018 07:46
Last Modified: 15 May 2018 07:46
URI: http://repo-nkm.batan.go.id/id/eprint/1700

Actions (login required)

View Item View Item