e-Repository BATAN

Advanced Search

DEPOSISI LAPISAN TIPIS TITANIUM NITRIDA PADA STAINLESS STEEL 316 MENGGUNAKAN METODE DC SPUTTERING

Andriyanti, Wiwien and Prama, H.S and Priyantoro, Dwi (2017) DEPOSISI LAPISAN TIPIS TITANIUM NITRIDA PADA STAINLESS STEEL 316 MENGGUNAKAN METODE DC SPUTTERING. In: PROSIDING PERTEMUAN DAN PRESENTASI ILMIAH PENELITIAN DASAR ILMU PENGETAHUAN DAN TEKNOLOGI NUKLIR, 28 November 2017, Yogyakarta.

[img]
Preview
Text (DEPOSISI LAPISAN TIPIS TITANIUM NITRIDA PADA STAINLESS STEEL 316 MENGGUNAKAN METODE DC SPUTTERING)
PROSIDING_W.ANDRIYANTI_PSTA_2017.pdf - Published Version
Available under License Creative Commons Attribution Share Alike.

Download (293kB) | Preview

Abstract

DEPOSISI LAPISAN TIPIS TITANIUM NITRIDA PADA STAINLESS STEEL 316 MENGGUNAKAN METODE DC SPUTTERING. Deposisi lapisan titanium nitrida dilakukan untuk meningkatkan umur pakai dari stainless steel 316 yang sering digunakan dalam lingkungan korosif serta memiliki temperatur tinggi. Penelitian ini difokuskan terhadap pengaruh lapisan TiN terhadap sifat kekerasan dan ketahanan korosi. Metode yang digunakan dalam penelitian ini adalah DC sputtering dengan parameter waktu dan perbandingan gas yang dialirkan serta menggunakan tekanan pada orde 10-2 mbar. Waktu yang digunakan adalah 30, 60, 90, 120 dan 150 menit dengan perbandingan gas 50Ar:50N, 60Ar:40N, 70Ar:30N, 80Ar:20N dan 90Ar:10N. Waktu optimum untuk proses deposisi adalah 90 menit dengan perbandingan gas 70Ar:30N. Laju aliran gas argon sebesar 55,8 ml/min dan laju gas nitrogen 164 ml/min. Nilai kekerasan maksimum yang diperoleh sebesar 145 VHN dengan faktor koreksi sebesar 0,995. Nilai laju korosi terkecil adalah sebesar 0,12 mpy dimana terjadi peningkatan 700 % dari raw material. Lapisan tipis TiN terbentuk pada substrat dengan intensitas rendah yaitu pada bidang 111, 200 dan 202. Kata kunci : stainless steel, DC Sputtering, Titanium Nitrida

Item Type: Conference or Workshop Item (Paper)
Subjects: Rekayasa Perangkat dan Fasilitas Nuklir
Rekayasa Perangkat dan Fasilitas Nuklir > Teknologi Proses Fasilitas Nuklir
Divisions: Pusat Sains dan Teknologi Akselerator
Depositing User: EDITOR PSTA BATAN
Date Deposited: 05 Jun 2018 13:09
Last Modified: 05 Jun 2018 13:09
URI: http://repo-nkm.batan.go.id/id/eprint/3000

Actions (login required)

View Item View Item