e-Repository BATAN

Advanced Search

PEMBUATAN DAN UJI COBA LAPISAN TIPIS ZnO:Al SEBAGAI PROTOTIPE SENSOR GAS DENGAN GAS UJI KARBON MONOKSIDA

Taxwim, Taxwim and Sujitno, Tjipto and Sugiyanto, Mei (2007) PEMBUATAN DAN UJI COBA LAPISAN TIPIS ZnO:Al SEBAGAI PROTOTIPE SENSOR GAS DENGAN GAS UJI KARBON MONOKSIDA. In: Pertemuan dan Presentasi Ilmiah Teknologi Akselerator dan Aplikasinya, 9 November 2007, Yogyakarta.

[img]
Preview
Text (PEMBUATAN DAN UJI COBA LAPISAN TIPIS ZnO:Al SEBAGAI PROTOTIPE SENSOR GAS DENGAN GAS UJI KARBON MONOKSIDA)
PROSIDING_TAXWIM, TIPTO SUJITNO, MEI SUGIYANTO_PSTA_2007.pdf - Published Version
Available under License Creative Commons Attribution Non-commercial.

Download (8MB) | Preview

Abstract

PEMBUATAN DAN UJI COBA LAPISAN TIPIS ZnO:Al SEBAGAI PROTOTIPE SENSOR GAS DENGAN GAS UJI KARBON MONOKSIDA. Telah dibuat suatu prototip sensor gas dengan mengunakan bahan ZnO:Al di atas substrat alumina dengan menggunakan metode dc-reactive sputtering dan evaporasi. Pembentukan pola lapisan elektroda emas dilakukan menggunakan metode lithografi. Karakterisasi sensor telah dilakukan untuk menguji sifat tanggap gas CO. Karakterisasi sensor terhadap sifat tanggap gas CO menunjukkan bahwa sensor dengan lapisan tipis semikonduktor ZnO:Al dapat mendeteksi adanya gas CO. Sensor yang dibuat dapat beroperasi pada suhu sekitar 250°C. Sensitivitas sensor menunjukkan nilai tertinggi sebesar 64,706%. Sensor memiliki waktu tanggap antara 90 – 180 detik. Kata kunci : sensor gas karbon monoksida, lapisan tipis ZnO:Al, metode dc-reactive sputtering dan evaporasi.

Item Type: Conference or Workshop Item (Paper)
Subjects: Isotop dan Radiasi > Produksi Isotop dan Sumber Radiasi > Akselerator
Rekayasa Perangkat dan Fasilitas Nuklir
Divisions: Pusat Sains dan Teknologi Akselerator
Depositing User: EDITOR PSTA BATAN
Date Deposited: 05 Jul 2018 08:13
Last Modified: 05 Jul 2018 08:13
URI: http://repo-nkm.batan.go.id/id/eprint/3295

Actions (login required)

View Item View Item