e-Repository BATAN

Advanced Search

KAJIAN PEMBUATAN PROTOTIPE KAPASITIF-RESISTIF RH MIKROSENSOR BERBAHAN DIELEKTRIK Al2O3

Sujitno, Tjipto and Suhariadi, Iping and Abraha, Kamsul (2007) KAJIAN PEMBUATAN PROTOTIPE KAPASITIF-RESISTIF RH MIKROSENSOR BERBAHAN DIELEKTRIK Al2O3. In: Pertemuan dan Presentasi Ilmiah Teknologi Akselerator dan Aplikasinya, 9 November 2007, Yogyakarta.

[img]
Preview
Text (KAJIAN PEMBUATAN PROTOTIPE KAPASITIF-RESISTIF RH MIKROSENSOR BERBAHAN DIELEKTRIK Al2O3)
PROSIDING_TJIPTO S., IPING S., KAMSUL ABRAHA_PSTA_2007.pdf - Published Version
Available under License Creative Commons Attribution Non-commercial.

Download (8MB) | Preview

Abstract

KAJIAN PEMBUATAN PROTOTIPE KAPASITIF-RESISTIF RH MIKROSENSOR BERBAHAN DIELEKTRIK Al2O3 Telah dilakukan kajian pembuatan prototipe kapasitif-resistif RH mikrosensor berbahan dielektrik aluminium oksida (Al2O3). Pendeposisian lapisan tipis Al2O3 dilakukan melalui teknik DC Sputtering konvensional. Pengujian dengan UV/Visible Spectroscopy dilakukan untuk menyelidiki keadaan stoikiometri dan menentukan ketebalan dari lapisan tipis Al2O3 yang dihasilkan. Pengujian dengan difraksi sinar-X dilakukan untuk mengetahui efek dari variasi suhu substrat terhadap struktur kristal lapisan tipis Al2O3. Hasil pengkarakterisasian dari ketiga sensor menunjukkan karakter yang sama dimana ketiga sensor tersebut sangat sensitif untuk kelembaban tinggi diatas 60% dengan respon waktu kurang dari 5 detik. Kata kunci: lapisan tipis Al2O3, DC sputtering, kapasitif-resistif RH mikrosensor

Item Type: Conference or Workshop Item (Paper)
Subjects: Isotop dan Radiasi > Produksi Isotop dan Sumber Radiasi > Akselerator
Rekayasa Perangkat dan Fasilitas Nuklir
Divisions: Pusat Sains dan Teknologi Akselerator
Depositing User: EDITOR PSTA BATAN
Date Deposited: 05 Jul 2018 08:21
Last Modified: 05 Jul 2018 08:24
URI: http://repo-nkm.batan.go.id/id/eprint/3297

Actions (login required)

View Item View Item