e-Repository BATAN

Advanced Search

PENGARUH DAYA RF SPUTTERING DAN WAKTU DEPOSISI TERHADAP KARAKTERISTIK LAPISAN TIPIS SnO2 YANG TERBENTUK SEBAGAI BAHAN SENSOR GAS

Sayono, Sayono and Santoso, Agus and Yunanto, yunanto (2005) PENGARUH DAYA RF SPUTTERING DAN WAKTU DEPOSISI TERHADAP KARAKTERISTIK LAPISAN TIPIS SnO2 YANG TERBENTUK SEBAGAI BAHAN SENSOR GAS. In: PPI - PDIPTN 2005 Puslitbang Teknologi Maju, 2 Juli 2005, Yogyakarta.

[img]
Preview
Text (PENGARUH DAYA RF SPUTTERING DAN WAKTU DEPOSISI TERHADAP KARAKTERISTIK LAPISAN TIPIS SnO2 YANG TERBENTUK SEBAGAI BAHAN SENSOR GAS)
PROSIDING_SAYONO_PSTA_2005.pdf - Published Version
Available under License Creative Commons Attribution Non-commercial Share Alike.

Download (326kB) | Preview

Abstract

PENGARUH DAYA RF SPUTTERING DAN WAKTU DEPOSISI TERHADAP KARAKTERISTIK LAPISAN TIPIS SnO2 SEBAGAI BAHAN SENSOR GAS. Telah dilakukan penelitian mengenai pengaruh daya RF sputtering dan waktu deposisi terhadap karakteristik bahan lapisan tipis SnO2 yang melipiuti : suhu operasi, sensitivitas, waktu tanggap, struktur kristal, morfologi dan komposisi kimia lapisan tipis. Proses deposisi dilakukan dengan RF Sputtering. Variasi daya dimulai dari 160, 170, 180 dan 190 W dan variasi waktu dimulai dari 25, 30 dan 35 menit dengan mengunakan tegangan elektroda 750 V. Hasil eksperimen menunjukkan bahwa lapisan tipis SnO2 yang terdeposisi mampu mendeteksi gas C2H5OH, NH3, CO dan HNO3 pada suhu operasi 300°C. Bahan tersebut memiliki sensitivitas dan waktu tanggap paling optimal dicapai oleh sampel yang dideposisi dengan daya 180 W selama 30 menit berturut turut senilai 88.64 % dan 1 sekon. Hasil analisis XRD menunjukkan bahwa bahan yang terdeposisi berstruktur tetragonal dengan orientasi (110), (101) dan (211) dengan parameter kisi a = 4,65 Å dan c = 3,12 Å. Analisis menggunakan SEM-EDS menunjukkan bahwa makin besar daya yang digunakan, lapisan tipis SnO2 makin homogen morfologi permukaannya. Perbandingan persentase unsur Sn dan O pada lapisan tipis sebesar 1 : 2,48.

Item Type: Conference or Workshop Item (Paper)
Subjects: Rekayasa Perangkat dan Fasilitas Nuklir
Rekayasa Perangkat dan Fasilitas Nuklir > Instrumentasi Nuklir
Divisions: Pusat Sains dan Teknologi Akselerator
Depositing User: EDITOR PSTA BATAN
Date Deposited: 29 Oct 2018 06:11
Last Modified: 29 Oct 2018 06:11
URI: http://repo-nkm.batan.go.id/id/eprint/4109

Actions (login required)

View Item View Item