e-Repository BATAN

Advanced Search

OPTIMASI PARAMETER PEMBUATAN LAPISAN TIPIS TiO2 UNTUK APLIKASI SENSOR GAS

Santoso, Agus and Sayono, Sayono and Kriswahyudi, Kriswahyudi (2004) OPTIMASI PARAMETER PEMBUATAN LAPISAN TIPIS TiO2 UNTUK APLIKASI SENSOR GAS. In: Prosiding Pertemuan dan Presentasi Ilmiah Teknologi Akselerator dan Aplikasinya, 1 Oktober 2004, Yogyakarta.

[img]
Preview
Text (OPTIMASI PARAMETER PEMBUATAN LAPISAN TIPIS TiO2 UNTUK APLIKASI SENSOR GAS)
PROSIDING AGUS SANTOSO_PSTA_2004.pdf - Published Version
Available under License Creative Commons Attribution Non-commercial Share Alike.

Download (325kB) | Preview

Abstract

OPTIMASI PARAMETER PEMBUATAN LAPISAN TIPIS TiO2 UNTUK APLIKASI SENSOR GAS. Telah dilakukan penelitian optimasi parameter pembuatan lapisan tipis TiO2 dengan variabel waktu deposisi dan suhu subtrat. Untuk waktu deposisi variabel waktunya 1 jam s/d 3 jam dengan interval waktu 30 menit, sedangkan suhu subtrat dari 250 0C s/d 300 0C dengan interval suhu 5 0C. Disamping itu juga dilakukan pengukuran resistivitas dari tiap sampel lapisan tipis TiO2. Setelah dilakukan pengujian, maka diperoleh kondisi optimal paralatan DC sputtering untuk pembuatan lapisan TiO2 yaitu dicapai pada suhu subtrat 250 0C dan lama deposisi 2,5 jam dengan nilai resistansi sebesar 100 MΩ. XRD digunakan untuk mengetahui strukturnya lapisan TiO2, sedangkan untuk mengetahui respon terhadap gas maka dilakukan dengan pengukur an resitivitas ketika dialiri gas. Dari hasil percobaan diperoleh bahwa resistivitas optimal 100 MΩ, Sedangkan hasil analisa XRD diperoleh puncak-puncak difraksi pada sudut (2θ): 38,090; 81,350; 55,270 ; dengan orientasi bidang (004) ; (008); (211); dan struktur kristalnya anatase dan paling sensitif adalah terhadap uap aceton

Item Type: Conference or Workshop Item (Paper)
Subjects: Rekayasa Perangkat dan Fasilitas Nuklir
Divisions: Pusat Sains dan Teknologi Akselerator
Depositing User: EDITOR PSTA BATAN
Date Deposited: 30 Oct 2018 00:53
Last Modified: 30 Oct 2018 00:53
URI: http://repo-nkm.batan.go.id/id/eprint/4147

Actions (login required)

View Item View Item