e-Repository BATAN

Advanced Search

EFEK DOPING PALADIUM (Pd) PADA PERMUKAAN ZnO SEBAGAI BAHAN SENSOR GAS TERHADAP SENSITIVITAS GAS NH3, CO, C2H5OH DAN HNO3

Sayono, Sayono and Santoso, Agus (2004) EFEK DOPING PALADIUM (Pd) PADA PERMUKAAN ZnO SEBAGAI BAHAN SENSOR GAS TERHADAP SENSITIVITAS GAS NH3, CO, C2H5OH DAN HNO3. In: Prosiding Pertemuan dan Presentasi Ilmiah Teknologi Akselerator dan Aplikasinya, 1 Oktober 2004, Yogyakarta.

[img]
Preview
Text (EFEK DOPING PALADIUM (Pd) PADA PERMUKAAN ZnO SEBAGAI BAHAN SENSOR GAS TERHADAP SENSITIVITAS GAS NH3, CO, C2H5OH DAN HNO3)
PROSIDING_SAYONO_PSTA_2004.pdf - Published Version
Available under License Creative Commons Attribution Non-commercial Share Alike.

Download (405kB) | Preview

Abstract

EFEK DOPING PALADIUM (Pd) PADA PERMUKAAN ZnO SEBAGAI BAHAN SENSOR GAS TERHADAP SENSITIVITAS GAS NH3, CO, C2H5OH dan HNO3. Telah dilakukan penelitian efek doping ion paladium (Pd) dengan variasi energi: 20, 40, 60, 80 dan 100 keV dan dosis: 0,896 × 1016 ion/cm2; 1,194 × 1016 ion/cm2; 1,493 × 1016 ion/cm2; 1,791 × 1016 ion/cm2 dan 2,089 × 1016 ion/cm2 terhadap permukaan lapis tipis ZnO sebagai bahan sensor gas. Untuk mengetahui keberhasilan efek doping paladium pada permukaan lapis tipis ZnO dilakukan pengukuran resistansi dan sensitivitas sebagai fungsi suhu sensor dengan gas uji NH3; CO, C2H5OH dan HNO3. Dari percobaan diperoleh nilai resistansi dan sensitivitas terbaik pada dosis :1,791 × 1016 ion/cm2 dan energi 100 keV. Adapun besarnya nilai resistansi adalah 970 kΩ dengan sensitivitas terbaik untuk gas NH3 (17,13 ± 1,7)% pada suhu sensor 325 °C dengan konsentrasi 2100 ppm. Kemudian dari analisa unsur lapisan tipis ZnO+Pd pada kondisi optimum menggunakan EDAXS diperoleh masing-masing : 80,15%/wt Zn, 19,65%/wt O dan 0,20%/wt Pd.

Item Type: Conference or Workshop Item (Paper)
Subjects: Rekayasa Perangkat dan Fasilitas Nuklir
Divisions: Pusat Sains dan Teknologi Akselerator
Depositing User: EDITOR PSTA BATAN
Date Deposited: 30 Oct 2018 01:50
Last Modified: 30 Oct 2018 01:50
URI: http://repo-nkm.batan.go.id/id/eprint/4163

Actions (login required)

View Item View Item