e-Repository BATAN

Advanced Search

PENGARUH WAKTU DAN SUHU DEPOSISI SPUTTERING TERHADAP SENSITIVITAS SENSOR GAS TiN

Sayono, Sayono and Taxwim, Taxwim (2005) PENGARUH WAKTU DAN SUHU DEPOSISI SPUTTERING TERHADAP SENSITIVITAS SENSOR GAS TiN. Prosiding Pertemuan dan Presentasi Ilmiah Teknologi Akselerator dan Aplikasinya, 7. pp. 219-230. ISSN 1411-1349

[img]
Preview
Text (PENGARUH WAKTU DAN SUHU DEPOSISI SPUTTERING TERHADAP SENSITIVITAS SENSOR GAS TiN)
PROSIDING_SAYONO_PSTA_2005.pdf - Published Version
Available under License Creative Commons Attribution Non-commercial Share Alike.

Download (545kB) | Preview

Abstract

PENGARUH WAKTU DAN SUHU DEPOSISI SPUTTERING TERHADAP SENSITIVITAS SENSOR GAS TiN. Telah dilakukan penelitian mengenai pengaruh variasi waktu dan suhu deposisi sputtering terhadap sensitivitas sensor gas TiN yang difabrikasi dengan teknik DC sputtering. Variasi waktu dimulai dari 1; 1,5; 2; 2,5 dan 3 jam serta variasi suhu 150oC dan 300oC dengan tegangan tinggi DC sebesar 2 kV dan arus 50 mA. Hasil eksperimen menunjukkan bahwa lapisan tipis TiN yang dideposisi dengan parameter sputtering : tegangan 2 kV, arus 50 mA, tekanan 10-2 Torr, waktu 2 jam dan suhu 300 °C mempunyai sensitivitas optimun untuk mendeteksi gas CO. Dari hasil pengujian sensitivitas menunjukkan bahwa sensor gas dari bahan TiN mempunyai sensitivitas tertinggi terhadap gas CO dengan sensitivitas 76 % pada konsentrasi 5.575 ppm. Kemudian dari hasil analisa unsur dan tebal lapisan TiN pada kondisi optimum menggunakan SEM–EDS diperoleh masing-masing Ti sebesar (26,57 % atom), N (2,15 %) dan tebal lapisan TiN sebesar ± 0,5 μm.

Item Type: Article
Subjects: Isotop dan Radiasi > Produksi Isotop dan Sumber Radiasi > Akselerator
Divisions: Pusat Sains dan Teknologi Akselerator
Depositing User: EDITOR PSTA BATAN
Date Deposited: 30 Oct 2018 08:34
Last Modified: 30 Oct 2018 08:34
URI: http://repo-nkm.batan.go.id/id/eprint/4221

Actions (login required)

View Item View Item