e-Repository BATAN

Advanced Search

PENGUKURAN DISTRIBUSI BERKAS ION KELUARAN MESIN IMPLANTASI ION DI P3TM-BATAN BERBASIS TEKNIK PENGOLAHAN CITRA

Santosa, Slamet and Susita R. M., Lely and Wibowo, Tono (2005) PENGUKURAN DISTRIBUSI BERKAS ION KELUARAN MESIN IMPLANTASI ION DI P3TM-BATAN BERBASIS TEKNIK PENGOLAHAN CITRA. Prosiding Pertemuan dan Presentasi Ilmiah Teknologi Akselerator dan Aplikasinya, 7. pp. 29-36. ISSN 1411-1349

[img]
Preview
Text (PENGUKURAN DISTRIBUSI BERKAS ION KELUARAN MESIN IMPLANTASI ION DI P3TM-BATAN BERBASIS TEKNIK PENGOLAHAN CITRA)
PROSIDING_SLAMET S_PSTA_2005.pdf - Published Version
Available under License Creative Commons Attribution Non-commercial Share Alike.

Download (162kB) | Preview

Abstract

PENGUKURAN DISTRIBUSI BERKAS ION KELUARAN MESIN IMPLANTASI ION DI P3TMBATAN BERBASIS TEKNIK PENGOLAHAN CITRA. Distribusi berkas pada mesin implantasi ion akan berpengaruh pada hasil implantasinya. Ketidakmerataan berkas ion pada sistem target dapat terjadi antara lain karena adanya penyimpangan berkas ion pada sistem pemercepat dan lensa kuadrupol yang digunakan. Hal ini menyebabkan spot berkas ion tidak simetri terhadap sumbu aksial dan membentuk simpangan ke arah sumbu x dan y . Untuk meningkatkan kualitas distribusi berkas pada mesin implantasi ion perlu diketahui simpangan spot berkas ion pada keluaran tabung pemercepat, keluaran lensa kuadrupol dan sistem target. Pada makalah ini dilaporkan hasil pengukuran secara langsung distribusi berkas pada mesin implantasi ion di P3TM-BATAN. Pengukuran dilakukan dengan memasang keping target aluminium yang dilapisi kertas kalkir sebagai media perekam data berkas ion pada keluaran sistem pemercepat, keluaran lensa kuadrupol dan sistem target mesin implantasi ion. Pengolahan citra dari berkas ion yang dihasilkan dilakukan dengan pemrograman komputer menggunakan Matlab untuk menganalisa distribusinya. Dari histogram citra berkas ion dapat diketahui distribusi berkasnya dan dari perbandingan perhitungan dosis ion pada sistem target menggunakan SRIM didapat kesalahan pengolahan citra berkas ion sekitar 15-20 persen.

Item Type: Article
Subjects: Isotop dan Radiasi > Produksi Isotop dan Sumber Radiasi > Akselerator
Divisions: Pusat Sains dan Teknologi Akselerator
Depositing User: EDITOR PSTA BATAN
Date Deposited: 30 Oct 2018 08:44
Last Modified: 30 Oct 2018 08:44
URI: http://repo-nkm.batan.go.id/id/eprint/4223

Actions (login required)

View Item View Item